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中文摘要：
微机电系统(MEMS)由于其优异性能和低成本在许多技术领域展现出巨大的应用前景。但随着系统尺寸的微观化，由此产生的与大的比表面积相关的摩擦、粘着、粘拽等失效问题已严重影响了MEMS的正常运行和使用。近年来，多烷基环戊烷以其良好的流动性、超低挥发性、优异的热稳定性和摩擦学性能等特点成为解决MEMS摩擦学问题的潜在高性能润滑剂。此前，国内外对多烷基环戊烷纳米润滑薄膜的微观摩擦与粘着性能一直未有系统的研究。本项目研究通过气相沉积、旋涂、浸渍-提拉等方法设计和制备了各种多烷基环戊烷及其复合纳米润滑薄膜，如多层复合组装及图案化多烷基环戊烷纳米润滑薄膜，借助各种评价手段深入考察了多烷基环戊烷纳米润滑薄膜的组成、结构、表面结合状态与其粘着和微纳摩擦学性能的关系。并且在了解各种多烷基环戊烷纳米润滑薄膜的摩擦与粘着规律的基础上，发展了与其相应的润滑机理。本研究为微机械润滑问题的解决提供了必要的科学基础与技术途径。
结论摘要：
英文主题词multiply-alkylated cyclopentanes; ultrathin film; micro/nano-tribology; adhsion;
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