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　532nm激光对掺杂非晶硅薄膜的晶化机理研究中国科学院
  • 项目名称：　532nm激光对掺杂非晶硅薄膜的晶化机理研究中国科学院
  • 批准号：11ZR1441400
  • 项目来源：2011年上海市自然科学基金项目
  • 研究期限：2011-04-
  • 项目负责人：袁志军
  • 依托单位：上海光学精密机械研究所
  • 批准年度：2011
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 3
  • 0
  • 0
  • 0
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期刊论文
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