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新型纳米绒毯TiO2光阳极薄膜的低能量高密度He等离子体辐照制备及相关性能、机理研究
  • 项目名称：新型纳米绒毯TiO2光阳极薄膜的低能量高密度He等离子体辐照制备及相关性能、机理研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：11475119
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：杨吉军
  • 依托单位：四川大学
  • 批准年度：2014
杨吉军的项目
Cu互连微纳槽/孔内扩散阻挡层的表面形貌研究
期刊论文 4