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准一维纳米材料飞秒激光微细加工技术研究
  • 项目名称:准一维纳米材料飞秒激光微细加工技术研究
  • 项目类别:青年科学基金项目
  • 批准号:60608004
  • 申请代码:F050603
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:2007-01-01-2007-12-31
  • 项目负责人:李海燕
  • 负责人职称:讲师
  • 依托单位:天津大学
  • 批准年度:2006
中文摘要:

飞秒激光微细加工及准一维纳米材料制备技术是当今倍受关注的两个重要研究方向。飞秒激光技术凭借其脉冲宽度极短、峰值功率极高、烧蚀尺寸可以突破衍射极限等特点,已成功应用于微电子、微机械、微光学、微生物等多个领域;准一维纳米材料是指在两维方向上为纳米尺度、长度为宏观尺度的新型纳米材料,具有与尺寸相关的激发和光反射、弹道输运、库仑阻塞以及金属-绝缘体转变等特性,在下一代的纳米器件传感器、微工具、微电极、及

结论摘要:

飞秒激光微细加工及准一维纳米材料制备技术是当今倍受关注的两个重要研究方向。飞秒激光技术凭借其脉冲宽度极短、峰值功率极高、烧蚀尺寸可以突破衍射极限等特点,已成功应用于微电子、微机械、微光学、微生物等多个领域;准一维纳米材料是指在两维方向上为纳米尺度、长度为宏观尺度的新型纳米材料,具有与尺寸相关的激发和光反射、弹道输运、库仑阻塞以及金属-绝缘体转变等特性,在下一代的纳米器件传感器、微工具、微电极、及器件集成互连等方面具有极其重要的地位。本申请拟将纳米结构的构建方法与飞秒激光细微加工技术相结合,提出“准一维纳米材料飞秒激光微细加工技术研究”课题,利用飞秒激光高峰值功率特性,实现聚焦区域局部范围内的准一维纳米材料微细操作,旨在研究飞秒激光对准一维纳米结构材料作用机理与工艺。通过本项目的研究,拓宽飞秒激光在低维纳米机构材料领域的应用,使其成为新一代纳电子器件制造技术的理论与技术基础。


成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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