本项目拟通过获得的多孔结构和量子点等纳米材料,以聚合物为载体,研究在干涉光刻、电子束光刻以及自组装等技术制备的阵列结构中构筑与调控纳米结构及其阵列。通过研究在以下几个方面取得了结果1)发展了化学方法并获得了半导体量子点(可见波段的CdSe/CdS/ZnS核壳量子点与红外波段的PbS量子点等)、纳米孔结构(如TiO2,SiO2与ZnO纳米孔等),TiO2纳米管等纳米材料;2)发展了激光干涉光刻与热氧化工艺组合方法并获得特征尺寸在20-100 nm范围内可调的硅纳米结构与阵列,并在硅纳米结构上实现了半导体和金属的纳米结构的构筑;3)利用聚合物作为载体或模板,结合多孔模板(多孔氧化铝和TiO2纳米管等)作为诱导载体获得了含有纳米微粒的一维复合纳米结构或者用于纳米结构的组装;通过多孔结构实现了量子点(金属Pt或半导体CdSe量子点等)纳米结构在表面或内部形成,从而实现了纳米微粒在模板结构中组装和生长;4)获得了特征尺寸在40 nm-100 nm范围内的单个聚合物/量子点复合纳米结构,以及间距约为10 nm的金属沟道结构以及金属阵列结构。
英文主题词Nanostructure;Mico-/Nanofabrication;Assembly;Quantum dot;Array