中文摘要：

微孔不仅在微机电系统（MEMS）具有潜在的应用前景，而且在工业产品中也有广泛的应用。在硬质合金上加工微孔，特别是高精度大深径比的微孔，是一项艰难的挑战。本项目提出超声波振动和电极摇动复合的微细电火花加工微孔新工艺。基础研究着重在分析影响微细电火花加工微孔深径比的因素和规律，建立理论模型描述狭窄放电间隙的液体流动状态，解释常规微细电火花加工微孔只能够达到一定值的原因，为提高微细电火花加工微孔的可加工深径比提供理论依据。对于超声波振动和电极摇动对微孔加工的研究将在大量实验的基础上，建立各种状态下的理论模型，探索微细电火花技术加工微孔的可达深径比的极限值。本项目将研制具有自主知识产权的超声波振动和电极摇动复合方法，采用微细电火花技术加工微孔的加工装置。通过本项目的实施，为微细电火花技术加工高精度、大深径比微孔提供理论和技术支撑。