中文摘要：

本研究拟采用MgNiRE合金靶，通过等离子体溅射沉积方法制备Mg-Ni-RE纳米晶\非晶双层复合薄膜（即首先在基片上沉积纳米晶薄膜然后在其上沉积非晶薄膜）；综合运用XRD、TEM、STEM和XPS等方法，准确表征Mg-Ni-RE复合薄膜的成分、组织结构和表面结构，并细致研究微观结构变化对复合薄膜的电致变色效率和响应速度的影响；深入认识Mg-Ni-RE复合薄膜的电致变色特性、电化学特性与其成分和微观结构的关系及其影响机制。进而实现Mg-Ni-RE纳米晶薄膜较好的电致变色响应速度和Mg-Ni-RE非晶薄膜较高的稳定性的有机结合，获得响应速度快、稳定性高的电致变色复合薄膜，并克服传统工艺中在薄膜表面沉积的Pd层对透射率降低的影响。为发展可转换光控设备、智能窗口和非辐射显示器提供新的方法和新的材料。

结论摘要：

本研究拟采用MgNiRE 合金靶，通过等离子体溅射沉积方法制备Mg-Ni-RE 纳米晶\非晶双层复合薄膜（即首先在基片上沉积纳米晶薄膜然后在其上沉积非晶薄膜）；综合运用XRD、TEM、STEM 和XPS等方法，准确表征Mg-Ni-RE 复合薄膜的成分、组织结构和表面结构，并细致研究微观结构变化对复合薄膜的电致变色效率和响应速度的影响；深入认识Mg-Ni-RE 复合薄膜的电致变色特性、电化学特性与其成分和微观结构的关系及其影响机制。进而实现Mg-Ni-RE 纳米晶薄膜较好的电致变色响应速度和Mg-Ni-RE 非晶薄膜较高的稳定性的有机结合，获得响应速度快、稳定性高的电致变色复合薄膜，并克服传统工艺中在薄膜表面沉积的Pd 层对透射率降低的影响。为发展可转换光控设备、智能窗口和非辐射显示器提供新的方法和新的材料。