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中文摘要：
申请者长期从事微纳米机械加工工艺与装备方面的研究。建立了根据单个原子势能变化分析工件局部变形特点的判断准则，提出了探针切削比的概念，有效判别了微小探针去除纳米尺度材料的变形状态；提出了测量三方向切削力的新方法，通过实验验证了分子动力学仿真结论。解决了利用力精确控制加工深度等关键技术，建立了基于AFM的新型纳米加工装置，实现了复杂三维及跨尺度微纳结构的加工检测一体化；提出了基于AFM探针机械加工与自组装过程结合的复合纳米加工新方法，实现了微纳复合结构的加工。研制了基于AFM的原位纳米拉伸装置和三维微轮廓测量装置。发表学术论文93篇SCI检索36篇，他引81次，最高单篇他引13次，最高期刊影响因子7.3，EI检索57篇；获省部级奖励4项；授权发明专利6项；大会主题报告1次。研究成果曾被Nanowerk网站、Cutting Tools杂志、Nature China网站等媒体作为研究亮点报道。
结论摘要：
英文主题词Nanomilling；orbital motion；micro/nano structures；；
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著作
期刊论文
Experimental and Theoretical Investigation of Crystallographic Orientation Dependence of Nanoscratch
Machining slight burr formed micro-channels with different moving trajectories of a pyramidal diamon
Effects of AFM tip-based direct and vibration assisted scratching methods on nanogrooves fabrication
Fabrication of nanochannels with complex three-dimensional structures based on a modified atomic for
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