高气压氢等离子体活性物种诊断及提高氢原子产率研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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高气压氢等离子体活性物种诊断及提高氢原子产率研究

项目名称：高气压氢等离子体活性物种诊断及提高氢原子产率研究
项目类别：面上项目
批准号：10075011
申请代码：A050606
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2001-01-01-2003-12-01

项目负责人：杨学锋
负责人职称：教授
依托单位：大连理工大学
批准年度：2000

中文摘要：

高气压氢等离子体已广泛有于化学气相沉积及化工合成研究等领域。本工作拟采用分子束质谱和发射光谱等技术在国际上首次对微波及介质阻挡放电氢等离子体中活性物种及电子温度密度进行诊断研究并建立更完善的动力学模型。研究加入氟氮烷等提高氢原子产率的作用机制，发现新的提高氢原子产率的添加物，将对氢等离子体的实验和理论研究提高到一新水平。

中文主题词：氢负离子；氢原子；氢等离子体；分子束质谱；发射光谱

结论摘要：

英文主题词Hydrogen anion;Hydrogen atom;Hydrogen plasma; Molecular beam mass spectrometry;Optical emission spectrometry

成果综合统计