中文摘要：

微纳米结构是微电子及MEMS等技术中常见结构。对于体材料，界面的不平整产生的接触热阻对固体的导热产生极大的影响；而对于微电子技术制造的微纳米结构，界面间没有因粗糙度产生的接触热阻，热阻主要来自于界面对声子的散射。由于结构尺度接近或小于声子平均自由程，固体间界面对声子的散射主导了微纳米结构导热的过程，即微观接触热阻，对决定热导率起到了主要作用。本项目利用分子动力学方法研究声子在微纳米结构界面的传递和

结论摘要：

微纳米结构与声子平均自由程、热辐射波长接近，界面对粒子散射主导了能量传递过程。项目用分子动力学等手段研究了1）研究了固体氩复合薄膜法向和面向热导率、界面热阻，纳米管轴向热导率，发展了考虑界面粗糙度影响的界面反射率的模型；研究了Si薄膜和Si/Ge超晶格的热导率；2）探讨了反向异性导热现象，发现改变热流方向时固体氩类复合薄膜法向热导率和有T型台阶变截面纳米薄膜面向热导率发生改变；3）建立了热导率理论计算模型，研究了杂质、缺陷、同位素、温度、尺度对GaN导热系数的影响；4）研究了半导体薄膜热辐射的干涉现象，建立了理论模型，实测了20微米硅膜和0.54微米锗膜、ZrO2-Ge-ZnS和MgF2-ZnS-Ge-Al复合薄膜，证实了热辐射的干涉特性；5）文献调研和总结了微纳尺度界面对流动和传热的影响，结果表明界面影响了热力学性质、物性、能量与动量传递等各个方面，在三种传热方式中都有表现，是流动与传热的变化主因；微纳结构的物性不完全取决于材料自身，而与相邻的介质有关。发表（含接受）期刊论文八篇（五篇SCI，一篇EI），会议论文十篇，国际大会邀请报告四次。另有已投SCI期刊论文二篇，国际会议二篇。