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面向柔性电子制造的空间隔离原子层沉积系统基础研究
  • 项目名称：面向柔性电子制造的空间隔离原子层沉积系统基础研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：51575217
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：陈蓉
  • 依托单位：华中科技大学
  • 批准年度：2015
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