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ECR等离子体中的多碳氟基团研究
项目名称:ECR等离子体中的多碳氟基团研究
项目类别:面上项目
批准号:10175048
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:宁兆元
依托单位:苏州大学
批准年度:2001
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
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期刊论文
磁控溅射沉积的Ge/ZnO复合多层膜的光致发光特性研究
宁兆元的项目
多频CCP/ICP混合放电等离子体源的若干关键物理问题的研究
期刊论文 26
会议论文 1