中文摘要：

用磁控溅射共溅射方法制备了MoS2/WS2复合润滑薄膜，通过XRD、EDX、TEM和XPS对薄膜的成分和结构进行了分析，并采用UMT-2MT型微摩擦磨损试验机在大气（相对湿度RH=45%~50%）室温（20~25 C）环境下测试薄膜的摩擦磨损性能。结果表明MoS2/WS2复合薄膜结构致密，因而有较好抗氧化性。其磨损寿命、摩擦稳定性和抗载荷能力比纯MoS2磁控溅射薄膜都有显著提高，而摩擦系数更低。利用磁控溅射制备Ni/MoS2/WS2共溅射复合薄膜，在大气室温环境下对薄膜进行摩擦磨损性能测试，结果表明Ni/MoS2/WS2复合薄膜(002)基本面优先取向生长，且磨损寿命、摩擦稳定性和抗载荷能力都比纯MoS2薄膜有很大的提高，同时摩擦系数却有很大的降低。同样方法制备得到的Ti/MoS2/WS2薄膜也具有同样的特性。在Ar/C2H2气氛中通过反应溅射法制备了WS2/MoS2/C复合薄膜，结果表明相比于纯MoS2薄膜，WS2/MoS2/C复合薄膜结构致密，硬度也提高了近一个数量级，在潮湿大气条件下复合薄膜的摩擦系数更低、抗磨损能力更强。