本课题将对KDP晶体单点金刚石切削中加工变质层、亚表层损伤和残余应力产生的原因及变化规律进行深入研究,以揭示材料各向异性对KDP晶体超精密加工表面质量的影响。以微观塑性力学和断裂力学理论为基础,建立动态切削力新模型,优选最佳晶体切削方向,降低由材料各向异性引起的切削力波动对加工表面质量的影响。研究圆弧刃金刚石刀具超精密加工表面微观形貌形成机理,采用小波分析技术分析和处理振动信号,建立KDP晶体超精