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超声辅助纳米加工系统及其关键技术研究
项目名称:超声辅助纳米加工系统及其关键技术研究
项目类别:面上项目
批准号:51675371
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:田延岭
依托单位:天津大学
批准年度:2016
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
1
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期刊论文
音圈电机驱动的柔性定位平台设计与控制
田延岭的项目
大行程微/纳表面测量与表征系统及其关键技术
期刊论文 23
纳米级微定位系统热误差辨识与补偿关键技术研究
期刊论文 24
会议论文 2