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硅基MEMS射频前端模块技术研究
项目名称:硅基MEMS射频前端模块技术研究
项目类别:重点项目
批准号:61734007
项目来源:国自然科学基金
研究期限:2018-01-2022-12
项目负责人:杨晋玲
依托单位:中国科学院半导体研究所
批准年度:2017
杨晋玲的项目
集成化高性能微纳机电射频谐振器件研究
期刊论文 8