位置：立项数据库 > 立项详情页
MEMS光开关光可变衰减器单片集成的理论与技术研究
  • 项目名称：MEMS光开关光可变衰减器单片集成的理论与技术研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：60278028
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：吴文刚
  • 依托单位：北京大学
  • 批准年度：2002
吴文刚的项目
基于Scallop效应所制备三维镂空纳米阵列结构的LSP-SPP耦合免疫传感原理及器件研究
基于聚焦离子束应力引入技术的三维纳米结构成型方法及理论研究
会议论文 4
射频MEMS无源元器件铜互连及其建模技术研究
期刊论文 8 会议论文 6
结构一体化光开关、光可变衰减、光可调功率分配多功能MEMS器件理论与结构研究
期刊论文 2 会议论文 1 专利 9
基于电解液-氧化物-半导体(EOS)结构单向导电特性的微/纳流控器件基础研究
期刊论文 1