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星载硅微静电加速度计关键技术研究
  • 项目名称：星载硅微静电加速度计关键技术研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：41074049
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：韩丰田
  • 依托单位：清华大学
  • 批准年度：2010
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 1
  • 0
  • 1
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期刊论文
硅微静电悬浮加速度计实验研究
专利
一种基于铝牺牲层工艺的悬浮微敏感结构的制备方法
韩丰田的项目
面向宏观旋转物体等效原理空间实验检验的高精度惯性传感技术
期刊论文 1
高速高刚度静电悬浮电机技术的研究
期刊论文 9 会议论文 5
导航级硅微静电陀螺的漂移误差抑制方法研究
面向海空重力测量的高精度硅谐振梁加速度计研究