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荷能离子团与固体材料互作用的自洽理论研究
项目名称:荷能离子团与固体材料互作用的自洽理论研究
项目类别:面上项目
批准号:10275009
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:王友年
依托单位:大连理工大学
批准年度:2002
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
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期刊论文
C20离子团簇在氧化物中穿行时库仑爆炸过程的理论研究
王友年的项目
等离子体刻蚀过程的计算机模拟
第五届亚太等离子体科学与技术会议
射频感应耦合等离子体中放电模式转换机理的研究
期刊论文 12
会议论文 5
第六届亚太等离子体科学与技术会议
等离子体反应腔室的多场耦合模型建立及实验验证
期刊论文 4
第三届微电子及等离子体技术国际会议
分子离子在固体材料中能量损失的理论研究
低气压多频等离子体与材料表面相互作用
期刊论文 80
会议论文 8
俄中等离子体高科技研讨会
第9届国际核聚变技术大会
甚高频放电下大面积容性耦合等离子体的电磁效应
期刊论文 2
等离子体断路开关的磁流体动力学数值模拟
期刊论文 6
会议论文 1