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基于光力捕获效应的高灵敏度硅基纳米梁微腔传感器研究
  • 项目名称:基于光力捕获效应的高灵敏度硅基纳米梁微腔传感器研究
  • 项目类别:面上项目
  • 批准号:61675178
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人:时尧成
  • 依托单位:浙江大学
  • 批准年度:2016
时尧成的项目