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DMD数字光刻新型光学引擎耦合及其外腔反馈合束研究
  • 项目名称：DMD数字光刻新型光学引擎耦合及其外腔反馈合束研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：61475037
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：周金运
  • 依托单位：广东工业大学
  • 批准年度：2014
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
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期刊论文
2μm分辨DMD光刻系统镜头设计
Subwavelength filter and sensor design based on end-coupled composited ring-groove resonator
周金运的项目
基于拉曼-纳斯声光衍射的新型紫外准分子激光均束器件研究
期刊论文 29 会议论文 6 专利 7