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基于机器视觉的晶圆表面缺陷量化探测与辨识研究
  • 项目名称：基于机器视觉的晶圆表面缺陷量化探测与辨识研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：71771173
  • 项目来源：国自然科学基金
  • 研究期限：2018-01-2021-12
  • 项目负责人：余建波
  • 依托单位：同济大学
  • 批准年度：2017
余建波的项目
机械设备性能退化的流形特征建模与量化评估预测研究
期刊论文 9