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　6.7nm极紫外光刻用激光等离子体光源
  • 项目名称：　6.7nm极紫外光刻用激光等离子体光源
  • 批准号：20122216110007
  • 项目来源：2012年高等学校博士学科点专项科研基金联合资助类课题
  • 研究期限：2013-02-
  • 项目负责人：林景全
  • 依托单位：长春理工大学
  • 批准年度：2012
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 4
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究
Mitigation of energetic ion debris from Gd plasma using dual laser pulses and the combined effect with ambient gas
Shadowgraph investigation of plasma shock wave evolution from AI target under 355-nm laser ablation
The Effect of an External Magnetic Field on the Plume Expansion Dynamics of Laser-Induced Aluminum Plasma
林景全的项目
极小时空尺度等离激元场的相干控制研究
输出波长6.7nm的稀土元素Gd靶激光等离子体极紫外光源研究
期刊论文 25 会议论文 1
飞秒激光等离子体通道传导射频电磁能的研究
期刊论文 39 会议论文 4
利用飞秒激光等离子体丝及纳秒光学空气击穿进行远程LIBS研究
期刊论文 19 会议论文 2
基于等离激元纳米结构的光辐射超短电子脉冲产生及控制
利用共振等离子体激元对光场提高产生相干极紫外辐射研究
期刊论文 31 会议论文 5 专利 2