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铁电－硅集成微麦克风和扬声器研究
  • 项目名称：铁电－硅集成微麦克风和扬声器研究
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：69806007
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：任天令
  • 依托单位：清华大学
  • 批准年度：1998
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
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期刊论文
Sol—Gel法硅基PZT铁电薄膜研究
铁电—硅集成微麦克风和扬声器的理论设计
任天令的项目
石墨烯对X射线辐射响应特性及机理研究
期刊论文 5
集成化射频高Q薄膜体声波谐振器
期刊论文 38 会议论文 17 专利 17
集成微流体高灵敏FBAR生物传感器系统
期刊论文 1
2007国际电子器件与半导体技术会议 (IEDST 2007)
用于SOC的新一代嵌入式铁电存储器材料、器件与兼容工艺
期刊论文 69 会议论文 16
恶劣环境下微系统器件研讨会
面向大气灰霾监测的自供电低功耗纳米谐振器基础研究
期刊论文 9
　汽车胎压与防撞微传感器及其系统
期刊论文 3
柔性微电子器件与系统基础研究
期刊论文 85 会议论文 6 专利 1