中文摘要：

"尺度效应"问题是目前微电子机械系统(MEMS)所面临的一个科学难题，并已成为制约MEMS发展的一个瓶颈。近年来，人们已经意识到这个问题，并对微结构静态力学特性的尺度效应做了大量工作。然而，MEMS器件一般都具有运动部件，而且，其失效往往发生在运动部件上。因此，对微结构动力学特性的研究尤其是其尺度效应的研究显得更为重要，这直接关系到MEMS器件的稳定性和可靠性。本申请项目将采用高速摄像机结合三维数

结论摘要：

随着MEMS的深入发展，"尺度效应"问题越来越受到人们的关注，这是目前微电子机械系统(MEMS)所面临的一个科学难题，已成为制约MEMS发展的一个瓶颈。近年来，人们对微结构力学特性的尺度效应做了大量工作,但主要是集中在静态方面，动态方面的。然而，MEMS器件一般都具有运动部件，而且，其失效往往发生在运动部件上。因此，对微结构动力学特性的研究尤其是其尺度效应的研究显得更为重要，这直接关系到MEMS器件的稳定性和可靠性。本项目采用了超声波激励技术、数字图像处理技术、高速摄像系统、激光多普勒振动分析系统等，对微结构动力学特性的尺度效应进行了实验研究；同时采用了应变梯度弹性理论及弹性体振动理论对微结构的动力学特性进行了分析，初步建立了微梁的振动理论模型；通过对比分析，发现二者有吻合的趋势。本申请项目的研究不仅可为逐步完善 MEMS设计理论提供依据，同时对微尺度动力学的建立和发展也将起到积极的推动作用。