中文摘要：

随着等离子体增强化学气相沉积技术在各领域应用的迅速发展，高密度、大面积均匀稳定等离子体源成为近年来亟待解决的关键问题和研究焦点。本项目拟以磁镜场约束线形微波等离子体为研究对象，采用理论与实验相结合的研究方法，试图将高密度、大面积均匀等离子体源技术提高到新水平。利用Langmuir探针、发射光谱、法拉第筒等诊断工具，研究磁镜场约束线形微波等离子体密度、电子温度、空间电位、离子能量等参数空间分布特性；研究放电条件、磁场、流场等对等离子体密度的影响；结合磁流体动力学模型理论分析磁场、微波、流场、等离子体相互作用机理；探索影响等离子体密度及轴向均匀性的内在机理。通过本项目的研究，明晰磁镜场约束线形微波等离子体的特性；阐明影响线形微波等离子体密度的内部物理机制；建立高密度、均匀稳定磁镜场约束线形微波等离子体的产生条件和优化方法，为实现高密度、大面积均匀稳定等离子体源及其应用提供思路。