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纳米功能器件的聚焦离子束制造基础研究
项目名称:纳米功能器件的聚焦离子束制造基础研究
项目类别:面上项目
批准号:51275559
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:徐宗伟
依托单位:天津大学
批准年度:2012
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
5
0
0
0
0
期刊论文
基于EBSD技术的单晶硅纳米切削研究
面向Ga^+和惰性离子的聚焦离子束加工机理的研究
聚焦离子束加工微锥形结构的制造误差分析
基于SEM纳米切削装置的设计与实验
金刚石刀具的圆柱母光栅微加工基础研究
徐宗伟的项目
碳纳米管探针的制备及其结构优化的关键技术研究
期刊论文 14
会议论文 1
获奖 10
著作 1
基于SEM在线纳米切削的加工极限及材料去除机理研究
期刊论文 1
单晶金刚石切削碳化硅的刀具磨损机理研究
期刊论文 1