位置：立项数据库 > 立项详情页
　高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备
  • 项目名称：　高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备
  • 批准号：2006AA04Z325
  • 项目来源：“十一五”国家高技术研究发展计划(863计划)先进制造技术领域2006年度专题课题
  • 研究期限：2006-11-
  • 项目负责人：刘世元
  • 依托单位：华中科技大学
  • 批准年度：2006
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究
基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究
刘世元的项目
高分辨层析成像穆勒矩阵椭偏仪研制与应用基础研究
机械测试理论、方法与技术
基于相似性的时间序列表示与模式发现理论和方法研究
期刊论文 18 会议论文 3
基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法
期刊论文 2
高深宽比微纳层次结构的仿壁虎毛参数优化设计与制作工艺研究
期刊论文 20 会议论文 12 专利 1
基于广义椭偏仪的纳米结构三维形貌参数测量理论与方法研究
期刊论文 25 会议论文 18