中文摘要：

测量型扫描探针显微镜在纳米加工、纳米材料学及生命科学领域有着广泛应用前景。在本课题的研究工作中，从多方面对现有的扫描探针显微镜的测量误差进行了理论和实验分析，并提出了一些补偿测量的方法及环境对策。对三维一体化柔性较链超微定位技术进了理论和实验研究，提出并研制了一种结构新颖的三维一体化超微定位平台。对纳米级实物基准的制备及评定方法进行了理论及实验研究，研制出以金为基体的纳米级台阶实物基准。完成了测量型扫描探针显微镜的测量原理设计，并进行了初步的仪器结构设计。在学术期刊及会议上发表相关学术论文八篇。