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由POSS制备纳米孔洞IC低介电材料研究
  • 项目名称：由POSS制备纳米孔洞IC低介电材料研究
  • 项目类别：国际(地区)合作与交流项目
  • 批准号：20310102072
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：徐洪耀
  • 依托单位：安徽大学
  • 批准年度：2003
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