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6英寸碳化硅晶体生长及缺陷研究
项目名称:6英寸碳化硅晶体生长及缺陷研究
项目类别:面上项目
批准号:51672306
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:王文军
依托单位:中国科学院物理研究所
批准年度:2016
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