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中文摘要：
椭圆偏振光谱技术是一项绝对测量的现代光学无损检测方法，在通讯、数字、光刻、半导体集成、微电子、纳米、材料等技术和相关的基础研究领域具有广泛应用价值。本项目在红外波段直接采用单色仪分光形式实现固定起偏器、旋转补偿器和固定检偏器模式红外椭圆偏振光谱仪，在国际上未见同类报道。本项目实现了精密硬件设计、测量和定标及复杂数值软件分析两部分的研究工作，解决光机电测量方面若干关键难点问题，首次实现单色仪分光全角度红外椭偏参数测量。我们成功设计研制了高亮度红外光源、红外波段旋转补偿器和红外探测器，巧妙实现了辅助激光样品准直方法、发展了系统精确定标等一系列创新研究工作。该项目的完成对提高我国在高技术领域和精密科学仪器制造业的国际影响力，提高我国的综合国力，推动我国红外光电信息功能材料器件的表征和研究工作具有重要意义。
结论摘要：
英文主题词infrared; spectroscopic ellipsometer
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