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高Q值闭环电容式MEMS加速度计高精度数字化读出技术研究
项目名称:高Q值闭环电容式MEMS加速度计高精度数字化读出技术研究
项目类别:面上项目
批准号:61473007
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:陈中建
依托单位:北京大学
批准年度:2014
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