针对金属薄膜,考虑表面能、界面能、晶界能和应变能建立晶粒生长理论模型并用计算机模拟;用透射电镜和X射线衍射 分别测量沉积和退火膜晶粒尺寸和织构;研究金属薄膜的宏、微观织构的形成及退火晶粒生长和织构变化的机理和规律;探索通过织构设计提高薄膜材料性能和途径;解决织构相关性能的定量预报及控制;用以指导金属薄膜的设计与应用。
英文主题词Thin Metallic Film; Texture; Properties