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　面向微/光电子器件制造装备高速执行机构精密运动实现的关键技术
  • 项目名称：　面向微/光电子器件制造装备高速执行机构精密运动实现的关键技术
  • 批准号：848257
  • 项目来源：2015年度广东省基础与应用基础研究专项资金（省自然科学基金）项目
  • 研究期限：2015-07-
  • 项目负责人：杨志军
  • 依托单位：广东工业大学
  • 批准年度：2015
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