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扩散阻挡层用W-Ti合金靶材性能改进探索性研究
  • 项目名称:扩散阻挡层用W-Ti合金靶材性能改进探索性研究
  • 项目类别:青年科学基金项目
  • 批准号:50501003
  • 申请代码:E010603
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:2006-01-01-2008-12-31
  • 项目负责人:储茂友
  • 负责人职称:教授
  • 依托单位:北京有色金属研究总院
  • 批准年度:2005
中文摘要:

W-Ti合金薄膜广泛应用于集成电路的铜布线技术,以阻挡铜向硅中的扩散。用溅射法生产的薄膜表面上总是存在污染粒子,严重影响薄膜性能。制备薄膜的原料靶材中存在第二相(富钛相)是产生污染粒子的重要根源。本课题提出通过添加第三元素M(M=Ta、V、Cr、Mo等)来解决这一问题。拟利用材料设计手段、热力学和动力学计算来预测添加元素的效果。利用扩散偶实验补充W-Ti-M体系短缺的相平衡和动力学实验数据,采用CALPHAD技术优化模型参数,建立各三元系的热力学和动力学数据库。通过计算预测添加元素对W-Ti合金单相区稳定性的影响和对W、Ti扩散系数的影响,模拟热压过程的相变情况,预测最佳的添加元素方案和热压工艺,计算预测和热压实验制备相结合,探索改进W-Ti基合金靶材质量的途径、最佳原料组成和制备工艺。


成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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  • 5
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