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低温原子层沉积非铟氧化物透明导电薄膜的科学问题及其技术应用研究
  • 项目名称：低温原子层沉积非铟氧化物透明导电薄膜的科学问题及其技术应用研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：61675088
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：段羽
  • 依托单位：吉林大学
  • 批准年度：2016
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