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超精密测量光学器件的变灰度掩模法制作工艺研究
项目名称:超精密测量光学器件的变灰度掩模法制作工艺研究
项目类别:青年科学基金项目
批准号:50005022
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:戴一帆
依托单位:中国人民解放军国防科学技术大学
批准年度:2000
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