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硅基单片光电子集成回路（OEIC）的关键技术及相关理论研究
  • 项目名称：硅基单片光电子集成回路（OEIC）的关键技术及相关理论研究
  • 项目类别：重点项目
  • 批准号：60536030
  • 申请代码：F040304
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2006-01-01-2009-12-31
  • 项目负责人：陈弘达
  • 负责人职称：研究员
  • 依托单位：中国科学院半导体研究所
  • 批准年度：2005
中文摘要：

我们对与标准微电子工艺全兼容的光发射二极管、光波导、光电探测器、光电子集成回路（OEIC）、SOI电光调制器、锗硅光电探测器进行了理论与实验研究，尤其在标准CMOS硅发光、高速光电探测、光电子集成回路等方面取得了重要进展。主要研究成果包括提出了硅基CMOS发光二极管等效电路模型，研制了不同机理、不同结构硅发光器件，研制了多种发光阵列，研制出了LED专用驱动电路，实现了驱动电路和发光二极管的单片集成；设计了多种新型的与CMOS工艺全兼容的硅基光电探测器，研制了高速跨阻放大电路，研制成功基于标准CMOS工艺的单片集成光接收机；首次研制成功标准CMOS工艺片上光互连；研制了SOI高速电光调制器和锗硅光电探测器。我们的研究成果覆盖了硅基单片光电子集成回路的关键技术及相关理论，研制成功的CMOS光电子器件和专用集成电路为硅基单片光电子集成回路的实现扫清了障碍，为全单片集成的片上光互连的实现提供了理论基础和技术方法。

中文主题词： 硅基单片光电子集成回路；硅基发光器件；光波导调制器/光探测器；驱动/放大专用集成电路；硅基光互连
结论摘要：

英文主题词Monolithic silicon optoelectronic circuits; Silicon luminescence devices; Optical waveguide modulator/photodetector；Driver/Receiver circuit

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 67
  • 19
  • 17
  • 0
  • 1
期刊论文
标准CMOS工艺U型Si LED器件发光分析
An approach to the optical interconnect made in standard process
1-GB/s Zero-Pole Cancellation CMOS Transimpedance Amplifier for Gigabit Ethernet Applications
标准 CMOS 工艺 U 型硅 LED 器件发光分析
一种新颖全差分光电集成接收机的标准CMOS实现
全硅片上光互连用波导
Si 基单片集成光电探测器接收机设计
Review on silicon photonics devices compatible with standard integrated
硅基光电子集成回路的研究
近红外锗硅光电探测器的研究进展
An Optoelectronic Pulse Frequency Modulation Circuit for Retinal Prosthesis
硅基 CMOS 工艺发光器件
用于喇曼放大的 SOI 脊形波导中自由载流子寿命的解析表达
双沟道实空间转移晶体管（ RSTT ）的研制
Concept and design of a novel high-bandwidth, high-sensitivity differential receiver for optical int
高锗组分 PIN 锗硅光电探测器设计与模拟
Silicon Light Emitting Devices in CMOS Technology
硅基 PIN 光电探测器的设计与模拟
平面型 RTD 与 BJT 构成的串联单元特性分析
前均衡 CMOS 光电集成接收机概念的提出和模拟
A High Speed,12-Channel Parallel, Monolithic Integrated CMOS OEIC Receiver
用于制备硅 LED 的太阳能电池技术
Silicon light Emitting Device in CMOS Technology
Fully differential optoelectronic integrated receiver implemented by 0.35um standard CMOS process
RTD/HEMT 单片集成中 RTD 直流参数与材料结构的关系
一种测量 RTD 串联电阻的新方法
Calculation of model parameters of dislocation-rich silicon emitting device based on exciton theory
RTD 振荡特性的模拟与研究
基于标准 CMOS 工艺的 Si 基光发射器件
Sensitivity design for a CMOS optoelectronic integrated circuit receiver
共振隧穿晶体管的反相器统一模型
由 RTD/MOSFET 构成的新型振荡电路
Design and implementation of an optoelectronic integrated receiver in standard CMOS process
带浅沟槽隔离的双光电二极管电路模型研究
长波长锗硅光电探测器的材料生长研究
基于激子理论的硅基位错环发光器件模型参数的计算
高锗组分PIN锗硅光电探测器设计与模拟
由RTD／MOSFET构成的新型振荡电路
适用于神经接口的硅基微电极制作
用于喇曼放大的SOI脊形波导中自由载流子寿命的解析表达
硅基PIN光电探测器的设计与模拟
双沟道实空间转移晶体管（RSTT）的研制
与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究
RTD振荡特性的模拟与研究
神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造
用于神经电信号记录的多通道微探针
Research on Electric Field Confinement Effect in Silicon LED Fabricated by Standard CMOS Technology
一种高灵敏度大动态范围读出电路
Multifunctional silicon-based light emitting device in standard complementary metal-oxide-semiconductor technology
硅基环形电-光调制器的理论分析和性能优化
MS／RF CMOS工艺兼容的光电探测器模拟与测试
Design and fabrication of Si LED with the N-well-P^＋ junction based on standard CMOS technology
Fully differential optoelectronic integrated receiver implemented by 0.35μm standard CMOS process
光调制器综述
用于制备硅LED的太阳能电池技术
高灵敏度CMOS光电集成接收机设计
高速12路并行CMOS单片光电集成接收机设计与实现
A 1.5 Gb/s monolithically integrated optical receiver in the standard CMOS process
A monolithic,standard CMOS,fully differential optical receiver with an integrated MSM photodetector
An approach to the optical interconnect made in standard CMOS process
可应用于光互连的新型高带宽、高灵敏度差分光接收机的概念提出与设计
标准CMOS工艺栅控Si-LED设计与制备
条形叉指n阱和p衬底结的硅LED设计及分析
高性能硅基MOS电光相位调制器
A flexible logic circuit based on a MOS-NDR transistor in standard CMOS technology
会议论文
An Integrated Optical Receiver in MS/RF CMOS Process
An optical interconnection based on silicon pin construction
Design and fabrication of a low crosstalk multi-channel CMOS OEIC receiver module
A 1Gb/s silicon photo-receiver in standard CMOS for 850-nm optical communication
A Low Power Integrated CMOS Transmitter for BCI System
标准 CMOS 工艺单片集成光接收机设计
Research on Silicon-based Optoelectronic Integrated Circuits
Monolithic Integration of Light Emitting Diodes, Photodetector and Receiver Circuit in Standard CMOS
Neuro-Stimulus Chip with Photodiodes Array for Sub-retinal Implants
Silicon Optical Emitter in CMOS Technology
Behavior Model and Experimental Research of Monolithic CMOS Compatible Photodetector and Preamplifie
硅基 CMOS 发光二极管驱动电路的设计
A monolithically Integrated Optical Receiver with Spatially Modulated Light Detector in CMOS Technol
硅基拉曼激光器
The equivalent circuit model on the room temperature electroluminescence from forward biased pin sil
硅基光电子器件与集成回路研究
标准 CMOS 工艺光电子集成回路研究
Implantable Microsystem for Wireless Neural Recording Applications
Monolithic Neuro-Stimulus Chip for Retinal Implants
专利
采用标准 CMOS 工艺制作的叉指型结构硅发光二极管
一种跨阻补偿式光接收机
CMOS 硅发光二极管驱动电路
SOI 衬底 CMOS 工艺电光调制器
一种标准 CMOS 全差分光检测器及其制作方法
三电容 MOS 硅基高速高调制效率电光调制器
带平面螺旋电感的 CMOS 硅光电探测器
双电容金属氧化物半导体硅基高速高调制效率电光调制器
与深亚微米射频工艺兼容的硅光电探测器
一种采用 CMOS 工艺制作的差分硅光电探测器
带宽与灵敏度均倍增的标准 CMOS 差分光电集成接收机
一种差分光接收机及灵敏度和带宽同时倍增的方法
双电容 MOS 硅基高速高调制效率电光调制器
硅基发光与探测共用器件及基构成光互连系统
多层金属间氧化物脊形波导结构及其制作方法
带前均衡电路的 CMOS 光电集成接收
CMOS 结构的硅基发光器件
著作
微电子与光电子集成技术
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