中文摘要：

随着石墨烯在应用领域的逐渐拓展，如何定量检测石墨烯的结构缺陷，理解缺陷对载流子迁移率等的影响，制备出缺陷密度低的高质量石墨烯是目前亟待解决的关键问题。本项目立足于石墨烯的结构缺陷识别与检测，拟开发出一套可广泛应用于任意石墨烯样品缺陷检测的工艺方法，主要的研究内容包括 1）结合氢等离子体各向异性刻蚀技术和原子力显微技术，发展一种可用于石墨烯缺陷检测的常规技术。2）检测碳化硅热解外延石墨烯和化学气相沉积石墨烯等样品的缺陷，并研究缺陷对石墨烯本身物理性能（如电学输运、声子散射等）的影响。3）分析缺陷产生的原因、机理，研究优化生长工艺的参数。本项目的开展可将复杂的问题简单化，微观的问题宏观化，定性定量的分析石墨烯的本征缺陷、晶界与晶向，从而为揭示石墨烯基器件的输运性质提供了实验支持。本项目所采用的方法与设备均简单好用、成本低廉，结果直观明了，完全可用于工业化检测技术之中。