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CVDSIC涂层缺陷机理控制方法研究
  • 项目名称：CVDSIC涂层缺陷机理控制方法研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：50072020
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：张立同
  • 依托单位：西北工业大学
  • 批准年度：2000
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