中文摘要：

紫外探测器在国防、紫外天文学、环境监测、生物医药等方面有着广泛的应用，具有极高的军事和民用价值。针对目前宽禁带半导体紫外探测器研究中存在的问题，本项目提出以TiO2为基体材料，石英玻璃为衬底，采用特殊溶剂对衬底进行处理，利用经官能团活化的表面诱导晶体成核，并通过自组装制备定向生长、缺陷密度低、结晶度完好的TiO2薄膜。在此基础上进行背照明式MSM双肖特基势垒结构的紫外光探测器的研究。此项技术不仅可以解决大面积、阵列化半导体紫外探测器和紫外成像系统中存在的缺乏合适衬底和有效工艺手段的难题，而且可以提高器件的灵敏度、降低响应时间、减少暗电流。同时，采用此项技术研制的紫外探测器还具有成本低、稳定性好、易于集成，适于批量生产的特点。研究取得如下成果器件响应范围250-325nm，在5V偏压下暗电流小于10nA，在260nm处响应度大于300A/W。