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MOCVD工艺模拟软件的开发
项目名称:MOCVD工艺模拟软件的开发
项目类别:专项基金项目
批准号:69587004
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:陈维友
依托单位:吉林大学
批准年度:1995
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