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大尺寸、高质量ZnO晶体的水热法生长关键科学技术问题研究
  • 项目名称：大尺寸、高质量ZnO晶体的水热法生长关键科学技术问题研究
  • 项目类别：重点项目
  • 批准号：50532100
  • 申请代码：E0201
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2006-01-01-2009-12-31
  • 项目负责人：张昌龙
  • 负责人职称：教授
  • 依托单位：中国有色桂林矿产地质研究院有限公司
  • 批准年度：2005
中文摘要：

大尺寸、高质量的氧化锌（ZnO）晶体是研究制作氮化镓、氧化锌等发光电子器件的重要衬底材料，特别是作为氧化锌的衬底材料，氧化锌体单晶具有其他衬底材料无法比拟的优势- - 同质外延，应用潜力巨大。本项目采用水热法进行ZnO晶体生长及性能研究。自行研制成功反应腔尺寸达Φ90×1500mm的高压釜，为大尺寸ZnO的水热法生长研究奠定了设备基础。研究了水热条件下氧化锌孪晶发育、－c区域缺陷形成机理；氧化锌晶体的化学机械抛光工艺；水热法合成氧化锌晶体的工艺条件并合成出了大尺寸高质量的ZnO 晶体。研究了氧化钪对水热法生长大尺寸氧化锌晶体的影响，同时合成了大尺寸的掺钪氧化锌晶体并对其性能进行了研究。与此同时项目组还开展了在ZnO衬底上采用MOCVD法生长ZnO薄膜的研究本项目研究获得7 项专利授权。发表论文19篇，并获1项科学技术二等奖。

中文主题词： 水热法； 氧化锌； 衬底材料
结论摘要：

英文主题词hydrothermal method； ZnO；substrate

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 27
  • 3
  • 8
  • 0
  • 0
期刊论文
氧化锌晶体的水热法生长及其性能研究
高度c轴取向的ZnO膜的低温水热法制备
Mn与N共掺ZnO铁磁稳定性及其电子结构的第一性原理研究
N掺杂ZnO薄膜的接触特性
Room-temperature ferromagnetism in Mn-N Co-doped p-ZnO epilayers by metal-organic chemical vapor dep
High temperature dehydrogenation for realization of nitrogen-doped p-type ZnO
Carbon clusters in N-doped ZnO by metal-organic chemical vapor deposition
Influence of unintentional doped carbon on growth and properties of N-doped ZnO films
氧化锌晶体的水热法生长及性能表征
Rapid thermal annealing induced changes on the contact of Ni/Au to N-doped ZnO
Correlation between carrier recombination and p-type doping in P monodoped and In-P codoped ZnO epil
Competitive adsorption and two-site occupation effects in metal-organic chemical vapor deposition of
Correlation between carrier recombination and p-Correlation between carrier recombination and p-type
Growth and properties of ZnO thin film on (111) SrTi03
Modeling analysis of the MOCVD growth of ZnO film
Ga和Mn共掺ZnO薄膜的结构和光学特性
ZnMgO生长中压强和衬底对薄膜性质的影响
ZnO-MOCVD水平反应室几何结构的模拟
N掺杂ZnO中的缺陷与光致发光
MOCVD ZnO缓冲层生长与退火研究
p型N掺杂ZnO薄膜的MOCVD生长与电学性质
O2流量对ZnO薄膜生长及性质的影响
Zn1-xMgxO合金的MOCVD生长及其紫外探测器的研究
Simulation of the ZnO-MOCVD horizontal reactor geometry
Mn incorporation induced changes on structure and properties of N-doped ZnO
水热法ZnO单晶的缺陷和光学特性研究
Suppression of compensation from nitrogen and carbon related defects for p-type N-doped ZnO
会议论文
水热法生长ZnO晶体的外形、缺陷及性能表征
Hydrothermal growth and characterization of ZnO crystals
钪对水热法生长氧化锌晶体的影响研究
专利
一种降低水热法ZnO晶体的螺旋位错密度的方法
氧化锌单晶衬底级基片的抛光方法
提高水热法生长ZnO晶体生长效率和质量的方法
一种获取均匀宽带隙半导体薄膜的同轴进气方法
大尺寸ZnO籽晶的拼装方法
旋转高压釜
一种抑制水热条件下ZnO晶体－c轴方向生长的方法
自组装ZnO阵列的水热法生长方法
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