GaN基LED在照明市场的前景备受全球瞩目,它将成为21世纪的新一代光源,以替代白炽灯、荧光灯和高压气体放电灯等传统光源。在蓝宝石衬底上生长非极性的A面GaN材料是解决现有的极性面GaN材料极化效应对发光效率的限制的重要方法。尽管A面GaN生长国内外已经研究多年,但没有得到器件质量的外延层。本课题是在我们多年A面GaN生长研究的基础上,分析了限制A面GaN生长的原因并提出了相应的解决方法。主要研究内容包括(1) 研究R面蓝宝石偏角衬底对A-GaN生长的影响(2) 高温AlN生长研究(3) 原位SiN的淀积和GaN二次外延研究。目的是得到器件质量的R面蓝宝石衬底上生长的A面GaN外延层,并得到非极性面GaN基蓝光发光二极管结构。