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R面蓝宝石上A面GaN生长研究
  • 项目名称:R面蓝宝石上A面GaN生长研究
  • 项目类别:面上项目
  • 批准号:50872146
  • 申请代码:E020702
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:2009-01-01-2011-12-31
  • 项目负责人:陈弘
  • 负责人职称:研究员
  • 依托单位:中国科学院物理研究所
  • 批准年度:2008
中文摘要:

GaN基LED在照明市场的前景备受全球瞩目,它将成为21世纪的新一代光源,以替代白炽灯、荧光灯和高压气体放电灯等传统光源。在蓝宝石衬底上生长非极性的A面GaN材料是解决现有的极性面GaN材料极化效应对发光效率的限制的重要方法。尽管A面GaN生长国内外已经研究多年,但没有得到器件质量的外延层。本课题是在我们多年A面GaN生长研究的基础上,分析了限制A面GaN生长的原因并提出了相应的解决方法。主要研究内容包括(1) 研究R面蓝宝石偏角衬底对A-GaN生长的影响(2) 高温AlN生长研究(3) 原位SiN的淀积和GaN二次外延研究。目的是得到器件质量的R面蓝宝石衬底上生长的A面GaN外延层,并得到非极性面GaN基蓝光发光二极管结构。


成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
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  • 著作
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