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　PECVD下不同基体表面c-BN薄膜生长行为及膜/基界面微结构研究
  • 项目名称：　PECVD下不同基体表面c-BN薄膜生长行为及膜/基界面微结构研究
  • 批准号：SKL200904SIC
  • 项目来源：2009年度高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室开放课题基金资助项目
  • 研究期限：2009-09-
  • 项目负责人：乔冠军
  • 依托单位：西安交通大学
  • 批准年度：2009
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 1
  • 0
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期刊论文
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乔冠军的项目
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