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面向AFM微悬臂刚度标定的微力测量系统及其关键技术研究
项目名称:面向AFM微悬臂刚度标定的微力测量系统及其关键技术研究
项目类别:面上项目
批准号:51675367
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:张大卫
依托单位:天津大学
批准年度:2016
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
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期刊论文
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张大卫的项目
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期刊论文 3
面向纳米压印的精密定位系统设计方法研究
数控加工自适应刀具轨迹规划技术及动力学行为的研究
三维可控探针纳米加工系统及其关键技术研究
期刊论文 4
面向测量的高速精密运动平台定位技术