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极紫外光照下光刻胶组合物的光化学过程与机理研究
  • 项目名称：极紫外光照下光刻胶组合物的光化学过程与机理研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：21373240
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：王双青
  • 依托单位：中国科学院化学研究所
  • 批准年度：2013
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