该项目利用密闭腔内自然对流气体的摆特性、正八角形敏感元件结构和微机械加工技术研制微机械气体摆式全方位水平姿态传感器。重点研究内容包括不同方位角和不同倾角情况下敏感元件内的温度场和流场分布特点;对称设置的热敏电阻处的温度在不同倾角情况下的差异;密闭腔体的结构尺寸、热源温度、热敏电阻的设置对传感器性能的影响;敏感元件的制作工艺;全方位水平姿态信号处理模块等。由于该项目有好的科学意义和实用价值,因此,在得到国家自然科学基金资助后又得到了教育部新世纪优秀人才支持计划项目资助。在项目执行期间所取得的成果如下(1)在国内外相关刊物和学术会议上发表论文29篇,其中EI收录13篇,ISTP收录3篇。(2)制作出敏感元件样品两只,性能指标达到了预期的目的。(3)申请和获得发明专利6项,其中3项已授权。(4)培养硕士生8人,其中6人已通过答辩。(5)本人成功入选教育部新世纪优秀人才支持计划和北京市新世纪百千万人才工程。
英文主题词omnibearing; dip angle;gas pendulum;sensor