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　MEMS规模制造技术基础研究
  • 项目名称：　MEMS规模制造技术基础研究
  • 批准号：2011CB309500
  • 项目来源：2010年度国家重点基础研究发展计划（973计划）、国家重大科学研究计划项目
  • 研究期限：2010-10-
  • 项目负责人：王跃林
  • 依托单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 批准年度：2010
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 1
  • 0
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期刊论文
MEMS规模制造技术基础研究
王跃林的项目
痕量爆炸物快速检测的硅纳米线传感器研究
TEM内可控机械加载纳米结构原位表征平台研制
期刊论文 4
自上而下的硅纳米线及其表面生物组装的可控批量制造技术
期刊论文 5
硅基纳米结构机械加载尺度效应与表征方法研究
期刊论文 42 会议论文 23 专利 10
　BNI融合的微纳传感器及其系统基础研究